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7AF-HMG研磨機具有實時過程監控及雙探頭監測功能，研磨SiC會產生熱量，從而導致研磨機熱膨脹，使用單個探針，研磨的前幾塊晶圓的厚度讀數將不準確，通常會導致研磨不足，使用雙探針可防止研磨不足，一個探針參考晶圓，另一個探針則參考工作卡盤，這消除了優于熱膨脹引起的誤差
更新時間：2024-03-19
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廠商性質：代理商
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更新時間：2024-09-20型號：廠商性質：代理商瀏覽量：2296
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